易泛特技术(深圳)有限公司

易泛特E-200湿膜测厚仪是一款专门针对需要非接触获取表面高度或轮廓曲线的仪器, 采用创新的光谱共聚焦原理, 通过探头扫描的方式获取轮廓,并通过配套设计的软件进行截面分析和测量,记录测量数据,并带有控制图表和CPK等SPC统计功能,并能导出测量数据为Excel兼容格式。
光谱共聚焦原理:是一束多波长混合光束,聚焦到一个点上,由于各种波长光线折射率不同,聚焦的位置也不同。聚焦在物体反射表面上的波长的光线,经过聚焦后通过一个微孔到达光谱分析仪器,其它波长的光线由于没有聚焦在物体表面,反射的光线只有极少能通过微孔,因此测量光线主波长就可以对应地得到该物体表面的高度。
该测量方法的优点是,对物体表面光学特征不敏感,可以测量各种颜色,各种反射度,各种透射率,包括透明材料和镜面反射材料。而且由于光线从四面八方照射到样品,对表面突变的边缘不易产生影响测量的阴影效应。由于光谱分析仪器的分辨率可以达到纳米级别,且对外界干扰光不敏感,所以测量精度高且稳定性好。
扫描臂和测量平台可分体的模块化设计,使得要测量很大的样品只需把扫描臂固定到更大的平台上,具有更好的灵活性和可扩展性。

扫描臂主体框架采用稳定精密的单块花岗石架构,提高稳定性,减少机架采用不同材料产生的热膨胀变形。设计时充分考虑到发热部件的安装位置和散热,减少发热部件对架构的热变形影响。
扫描轴使用光栅尺闭环位置反馈控制,没有丝杆驱动产生的发热膨胀以及磨损和间隙,运动精度稳定可靠。
亚微米级别的测量对震动非常敏感。测量平台可以配套安装气浮隔振器,利用带阻尼机构的空气悬挂吸收和隔离大部分外界震动,可以减少样品移位和读数跳动,提高精度。平台自带水平仪,方便用户随时监控平台是否放置水平,提高测量可靠性。
采用测量探头运动样品不运动的设计,可以避免样品产生震动和摇晃,并避免了样品运动和空气碰撞产生的气流影响,可以大幅度提高测量精度,对于未固化的浆料、胶水、油墨湿膜以及薄或柔软的、底部不平整度大于测量分辨率的基材来说,这一特点非常重要。

高度测量分辨率: 8~22nm(8采用过采样平均时)
重复精度: 0.1um(10mm距离的标准表面)
采样频率: 900样品/S (测量头静态可达2000样品/S)
量程: 400um(考虑到倾斜和变形,推荐350um以下)
可测量表面: 漫反射/透明/镜面,固态液态均可(胶水、银浆、油墨等均可)
Z轴可调整范围: 35mm
扫描距离: 50mm
扫描轴线性度: 0.001%(校准后)
扫描轴小步距:1um(更小需要定制)
快扫描速度:30mm/S(更大可定制)
测量局限性:光照射不到或无法反射足够光线到探头的地方无法测量。
本身发光或荧光物质需确认。(凹球面反射镜和透镜等光学部件或类似的表面 需要确认光路合理性)
必须配置:测量探头;探头控制器;扫描臂;扫描臂控制器;
测量软件
可选配置:测量平台;阻尼隔振器;平面误差小于0.1um标准表面;
电脑和操作系统
平台尺寸:600x800(更大可定制)
使用环境要求:远离震动和强光,无尘,恒温建议放在基础层楼层稳固的桌子(20摄氏度 正负1度,至少10万级洁净度,照度低于100LUX,湿度<60%RH且较稳定)
压缩空气/氮气/纯净水:无需
电源电压: 220V正负10%,交流50Hz